Acery LS1100 MEMS 晶圆片全参数自动测试系统可用于MEMS晶圆片的研发与制造，以衡量晶圆片上的芯片是否达到设计要求。自动测试系统包括探针台、测量仪器及自动测试软件，以完成动态参数和静态参数的测量。

-    系统可以进行静态参数和动态参数的测试

-    系统可以控制探针台实现全自动测试

-    系统具有Map图的绘制功能

-    系统具有按多种条件统计数据的功能

-    历史数据可以查询和检索

-    系统自动生成测试报告